靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。用于物理镀膜中的溅镀,主要有金属靶材和陶瓷靶材。2023年全球靶材行业市场规模超160亿美元,近五年行业复合增速为11.45%。初步估算,2024年全球靶材行业市场规模接近180亿美元。
溅射靶材最高端的应用是在超大规模集成电路芯片制造领域,具有规模化生产能力的企业数量相对较少,主要分布在美国、日本等国家和地区,产业集中度较高。从下游需求的区域竞争格局来看,根据研究数据,由于平面显示和太阳能电池对靶材的巨大需求,亚太地区当前在靶材市场中占据最高份额,2023年市场占比近40%。
从代表性企业靶材产品看,日矿金属、东曹、霍尼韦尔、普莱克斯、百盛科技等产品类型较多,用途较广,尤其是在半导体靶材、太阳能靶材等具有发展潜力的领域上述企业均提前布局。
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